
供应MPS-9薄形数字压力传感器|前级泵和预抽泵选型标准
发布时间:07月19日
详细说明
供应MPS-9薄形数字压力传感器|前级泵和预抽泵选型标准,压力传感器首选世安!
(1)前级泵应保证能及时排出主泵所排出的气体流量。(2)前级泵在主泵(如扩散泵、油增压泵,分子泵和罗茨泵)出口处造成的压强应低于主泵的*大排气压强。(3)兼作预抽泵的前级泵应满足预抽时间的要求。
MPS-9系列压力传感器总体参数:
型号
单位
MPS-V9
MPS-R9
适用流体
空气(真空),非腐蚀性气体
输出部分构造
硅隔膜
设定压力范围
kPa
-101~0
-101~500
保证耐压力
MPa
0.5
1
周围温度
℃
0-50
周围湿度
℅
35~85 RH(没有结露)
接口尺寸
M5×0.8
电源电压
V
DC10.8~30、脉动(Vp-p)5%以下
消费电流
mA
60
开关输出
NPN或是PNP输出 2点输出
负荷电流
mA
Max.125mA
模拟输出(附属产品)
V
电压输出 DC1~5(±0.1) 直线性0.5%F.S.以下 输出阻抗500Ω
往返精度
℅
±0.2 F.S. 1digit以下
温度特性
±2% F.S.以下(标准温度25℃,范围0~50℃)
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分子泵作为主泵时,其抽气能力与前级泵的抽气能力有密切关系。分子泵的前级侧需要保持分子流状态,它才能稳定工作。为了保证分子泵前级侧处于分子流状态,通常按式(47)选取前级泵的抽速。所配前级泵确定之后,即可按前级泵的入口尺寸选择前级管道阀和预抽管道阀,确定备部分连接管道的尺寸。根据以上的确定,可绘制出真空系统设计图。
特点:东莞世安提供的MPS-9系列压力传感器具备:1.10mm宽度,小型轻量传感器2.操作简单,通过键盘操作可以简单的设定。3.高速应答,实现了1.5ms 的高速应答。
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真空系统的主泵选定之后,重要的问题是如何选配合适的前级泵和预抽泵。通常前级泵直接影响主泵的抽气性能,影响真空系统的抽气时间和经济效益。配前级泵时应遵循以上几点规定。
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