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供应真空压力开关|TiCrNx薄膜详细参数介绍

发布时间:07月19日

详细说明

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 (1)XRD 分析结果表明,膜层主要以TiN、CrN 及Cr2N 形式存在。各

衍射峰存在一定的宽化和偏移,这主要是Cr 取代部分TiN 晶格中的Ti造成晶格畸变所致;TiN 相的择优取向面由(111)向(220) 转变,CrN 和Cr2N 相的择优取向分别为(200)、(220)和(113)晶面;
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  MVS-035系列电子式压力传感器参数概述

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MVS-035系列电子式压力传感器  
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2)显微硬度测试结果表明,样品薄膜的硬度较TiN 单层膜有所下降,主要是因为薄膜沉积过程中熔融的液钛或液铬附着在薄膜表面,在薄膜表面形成大颗粒以及多弧离子自身存在缺陷微孔洞的形成,使得薄膜表面结构疏松,硬度值相对较低
MVS-035系列电子式压力传感器选型

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(3)结合力测试结果显示,样品薄膜的结合力在38 N 到44 N 之间。偏压相同,阴极弧电流依次增大,结合力也增大。阴极弧电流相同,偏压增高,结合力变大。

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