
電漿輔助化學氣相沉積系統
发布时间:02月11日
详细说明
产品特色
大面积均匀性
高镀膜速率
低温真空镀膜
可通入多组气体
易操作及易维护
可以客户做修改
可搭配制等离子光谱分析仪做制程等离子监控及控制
应用产业
半导体产业
太阳能产业
LED产业
光电产业
镀膜制程
学术研究
馗鼎奈米科技股份有限公司
联系人:梁雅娟 女士 (业务)
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